Существующие методы и средства геометрического контроля периодических пространственных структур

Из существующих средств для контроля геометрических размеров пространственных структур наиболее широко в промышленности используются микроскопы, проекторы и фотоэлектрические измерительные оптические приборы (фотоэлектрические микроскопыи лазерные дифрактометры ). Но для геометрического контроля пространственной структуры ЛЗ в настоящее время прромышленно используют лишь микроскопы и проекторы. Существенным недостатком применения этих приборов является значительная трудоемкость всего метрологического процесса, а также необходимость статистической обработки результатов измерения размеров a и b ЛЗ.

Более переспективным для автоматизации геометрического контроля ЛЗ является применение фотоэлектрических измерительных приборов, выполненных на основе лазерных дифрактометров. Однако для автомати-зации геометрического контроля ЛЗ в настоящее время лазерные дифрактометры пока еще мало используются из-за отсутствия их промыш-ленного производства.

Дополнительно

Специфика работы секретаря
Специфика работы секретаря заключается в том, что ему приходится не только выполнять операции с неодушевлёнными предметами труда (документы, технические средства), но и осуществлять много­численные контакты с людьми: руководителем, сотрудниками, посети­телями, телефонными абонентами. Следует уч ...

Новая фундаментальная физическая константа, лежащая в основе постоянной Планка
Открыта новая фундаментальная физическая константа hu “фундаментальный квант действия” [11 - 15]. Ее значение равно [11,12,23]: hu=7,69558071(63)•10-37Дж с. На основе классических представлений для электромагнетизма получены еще две физиче ...

Меню сайта