Расчетная часть
Тогда согласно [11, 12] выходной сигнал ФИС с безинерционным фотоприемником, воспринимающим весь световой поток, прошедший через полевую диафрагму, можно определить как
(5.27), где
- интегральная чувствитель-ность фотоприемника;
- положение центра полевой диафрагмы в фиксированный момент времени при измерении сечения спектра
вдоль координаты
.
Применительно к рассматриваемому случаю выражение (5.27) с учетом (2.16) и (5.24) может быть представлено в виде
(5.28).
Полученное выражение (5.28) описывает форму электрического сигнала на выходе ФИС при сканировании энергетического спектра пространствен-ной структуры ЛЗ узкой щелевой диафрагмой. Из (5.28) видно, что форма выходного сигнала ФИС повторяет форму спектра с точностью до коэфи-циента пропорциональности, зависящего от размеров полевой диафрагмы ФИС и коэфициента
- масштаба КОС. Поэтому, измеряя амплитудно-временные параметры выходного электрического сигнала ФИС соответст-вующей аппаратурой, можно реализовать амплитудный метод контроля величины среднего квадратического отклонения ширины щелей в прост-ранственной структурк ЛЗ.
При амплитудном методе контроля с помощью КОС величины среднего квадратического отклонения
ширины щелей в пространственной струк-туре ЛЗ необходимо на выходе ФИС измерять величину амплитуд отдельных максимумов ее энергетического спектра на частотых
. Тогда, подставив
в (5.28) с учетом, что
и выполнив ряд алгеб-раических преобразований можно показать, что амплитула
-го максимума спектра, измеряемого на выходе ФИС, будет равна
(5.29), а использовав тож-дество (653.4) из [20], амплитуду
-го максимума спектра представим в виде
(5.30).
Найдем значение фотоэлектрического сигнала для первого максимума.
Для нашего случая распостранения излучения в воздухе коэфициент
. А значение
и
может быть найдено по следуюшим формулам:
·
- освещенность на оси пучка в плоскости х0у0, где
размер перетяжки лазерного пучка в плоскости х0у0.
·
.
С учетом вышеизложенного выражение (5.30) перепишется к виду
(6.1) . Подставив в дан-ное выражение исходные значения получим:
Линейная зависимость амплитуд
максимумов спектра от освещен-ности
пространственной квазипериодической структуры ЛЗ приведет к значительным погрешностям амплитудного метода контроля лишь абсолютных значений амплитуд
максимумов спектра. Эти погреш-ности возникают из-за нестабильности выходной мощности излучения лазе-ра при температурных дрейфах его резонатора, которая достигает 20-30% от
[19]. Поэтому, используя относительные измерения путем определения величины отношения
амплитуд
-го и
-го максимумов спектра
Дополнительно
Естественно-научные концепции развития микроэлектронных и лазерных технологий
Электроника - наука о взаимодействии электронов
с электромагнитными полями и о методах создания электронных приборов и
устройств (вакуумных, газоразрядных, полупроводниковых), используемых для
передачи, обработки и хранения информации. Возникла она в начале ХХ века. На ее
основе были созданы элект ...
Термоиндикаторы
Роль
температурных и тепловых измерений настолько велика, что в настоящее время без
них не может обойтись практически ни одна область знаний, ни одна отрасль
промышленности.
Каждый
из существующих способов измерения температуры имеет свои достоинства и
недостатки, поэтому выбор того или ин ...