Математическая модель измерительной системы

Кроме того, с увеличением параметров либо , амплитуда макси-мумов спектра убывает по обратнопропорциональной гиперболической

тангенциальной зависимости. Поскольку в результате статистических исследований было установлено, что является практически величиной постоянной [1] по сравнению с диапазоном измерений , то целесообраз-но рассматривать функциональную зависимость амплитуд максимумов спектра от параметра , приняв постоянным и равным 8 мкм.

Однако линейная зависимость амплитуд максимумов спектра от освещенности пространственной квазипериодической структуры ЛЗ приведет к значительным погрешностям амплитудного метода контроля лишь абсолютных значений амплитуд максимумов спектра. Эти погреш-ности возникают из-за нестабильности выходной мощности излучения лазе-ра при температурных дрейфах его резонатора, которая достигает 20-30% от [19]. Поэтому, используя относительные измерения путем опреде-ления величины отношения амплитуд -го и -го максимумов спектра

(5.31),

можно избавиться от влияния временных флуктуаций выходной мощности излучения лазера.

Полученное выражение (5.31) является уравнением амплитудного мето-да контроля величины СКО ширины щелей в пространственной структуре ЛЗ. В работе [1] показано, что для и функция являет-ся монотонно убывающей по мере увеличения . Однако крутизна измене-ния функции, характеризующая чувствительность метода, функционально зависит от соотношения номеров и , используемых для измерения максимумов. Поэтому для повышения чувствительности амплитудного мето-да контроля по алгоритму, описанному уравнением (5.31), необходима его оптимизация, т.е. выбор таких номеров и максимумов, при которых достигается максимальная чувствительность функции к изменению параметра . Согласно теории чувствительности [21, 22] - чувствитель-ность функции к изменению СКО выражается ее первой частной производной по параметру , т.е.

Перейти на страницу: 1 2 3 4 5 6 7 8

Дополнительно

Развитие атомной энергетики в Украине
Наше время называю атомным не только и не столько потому, что оно было ознаменовано гениальными открытиями в области строения атома, а и потому, что человек нашёл полезное применение фантастически огромной энергии, источником которой стал неизмеримо малый атом. Ионизирующее излучение (атомная р ...

Использование роботов на промышленных предприятиях
Рассмотрим конкретные задачи , которые роботы решают в настоящее время на промышленных предприятиях. Их можно разделить на три основных категории : - манипуляции заготовками и изделиями - обработка с помощью ...

Меню сайта